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HS Inc. 그룹은 반도체/MEMS, FPD(LCD, OLED), LED, 태양 에너지 산업을 위한 최고의 제품과 솔루션을 개발하여 공급하고 있으며, 이 중 HSM VINA는 LCD, OLED 산업을 전문 분야로 하고 있습니다. 특히 HSM VINA는 PI (폴리이미드) 정전척 기술 분야에 특화되어 있습니다.

PI 정전척 기술은 반도체 제조 및 기타 정밀 응용 분야에서 널리 사용되고 있는 기술로, 정전척은 주로 진공 챔버 내에서 에칭, 증착, 리소그래피 등 다양한 공정 중에 기판을 안정적으로 잡고 고정하는 도구로 사용되고 있습니다.

정전척의 작동 원리는 척과 기판 사이에 정전력을 생성하는 것입니다. 보다 구체적으로 기술하면 척의 전도층 또는 기판 등에 고압의 직류(DC) 전압을 인가하면 척과 기판 사이에 전기장이 생성되어 정전력이 발생되고, 이는 척과 기판 사이의 인력으로 작용하게 되는 것입니다.

PI 정전척의 주요 장점은 다음과 같습니다.

높은 고정력: 정전척이 생성하는 인력은 일반적으로 기계식 척 방식보다 높아 기판의 안정적인 고정을 가능하게 합니다. 이는 고속의 공정, 얇거나 섬세한 기판을 다루는 공정 등에서 장점으로 작용합니다.

균일한 압력: 정전력은 척의 표면 전체에 균등하게 펼쳐지므로, 그 압력 역시 기판에 균일하게 배분됩니다. 이는 일관된 접촉을 보장하는 것은 물론이고 휘어짐이나 변형의 위험을 최소화한다는 점에서 특정 부분에만 압력이 집중되는 기계적 방식보다 기판에 주는 영향을 최소화할 수 있다는 장점이 있습니다.

온도 제어: PI 정전척은 온도 제어에 있어서 탁월한 성능을 발휘합니다. 척이나 기판에 인가된 전압을 조절함으로써 기판을 가열하거나 냉각시킬 수 있어 공정 중 기판의 온도를 안정되게 유지할 수 있습니다.

비접촉 작동: 클램프나 진공 흡착을 사용하는 기계식 척과 달리, PI 정전척은 기판과 비접촉 방식으로 작동하기에 기판의 기계적 손상, 오염 또는 입자 생성의 위험이 매우 낮고, 높은 수율과 신뢰성을 자랑합니다.

호환성: PI정전척은 실리콘 웨이퍼, 유리 기판, 유연 필름 등 기판의 재료적 차이 뿐만 아니라, 그 크기와 형태에 있어서도  호환성이 높아, 다양한 제조 공정에 유연하게 적용할 수 있습니다.

결론적으로 PI 정전척 기술은 반도체 제조 및 기타 정밀 응용 분야에서 정확하고 신뢰할 수 있는 기판 클램핑을 제공하여 공정 제어와 제품 품질을 개선하는 데 기여할 수 있는 탁월한 선택이 될 것입니다.