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HSM VINA는 LCD, OLED 산업 분야의 생산 공정에 필요한 다양한 장비와 솔루션을 개발 및 공급하는 전문기업으로, 정전척(Electrostatic Chuck)은 당사의 대표적인 제품 중 하나입니다. 정전척은 전도성 층에 직류 전압을 인가하여 전압 차이를 이용한 인력 발생 장치로 반도체 및 디스플레이 공정에서 웨이퍼나 디스플레이 등의 기판을 각종 프로세스 상에서 고정하는데 주로 사용되고 있습니다. 

특히 LCD, OLED 산업에서 'Low Topology' PI-ESC 제품의 적용은 탁월한 효과를 가져다 줄 수 있습니다. 당사의  'Low Topology' PI-ESC 제품은 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.

(1) 금속 도체, 반도체, 디스플레이, 유리 등의 절연체 및 다공성 재료와 같은 다양한 물체를 흡착할 수 있습니다.

(2) 진공 환경에서 우수한 작동 성능을 발휘합니다.

(3) 정전기적인 부작용이 없음: TFT 회로와 같은 물체의 뒷면에 영향을 미치지 않으며, 전기장이 도달하지 않기 때문입니다.

(4) 흡착으로 인한 기판의 손상 없음: 표면에 균일한 힘이 가해져 표면에 움푹 들어간 부분, 긁힘 또는 기타 손상이 없습니다.

상기 PI-ESC 제품군은 HSM VINA에서 개발되며, 반도체 및 디스플레이 제조 공정을 보유하고 있는 다양한 고객의 요구에 맞춰 생산, 공급되고 있습니다.

The company is committed to research and development of hybrid ESC like Coated ESC, Tempered ESC, Robust ESC, Transparent ESC, etc for longer life time and higher chucking force.