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HSM VINA는 LCD, OLED 산업 분야의 생산 공정에 필요한 다양한 장비와 솔루션을 개발 및 공급하는 전문기업으로, 정전척(Electrostatic Chuck)은 당사의 대표적인 제품 중 하나입니다. 정전척은 전도성 층에 직류 전압을 인가하여 전압 차이를 이용한 인력 발생 장치로 반도체 및 디스플레이 공정에서 웨이퍼나 디스플레이 등의 기판을 각종 프로세스 상에서 고정하는데 주로 사용되고 있습니다. 

특히 LCD, OLED 산업에서 'Low Topology' PI-ESC 제품의 적용은 탁월한 효과를 가져다 줄 수 있습니다. 당사의  'Low Topology' PI-ESC 제품은 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.

(1) 금속 도체, 반도체, 디스플레이, 유리 등의 절연체 및 다공성 재료와 같은 다양한 물체를 흡착할 수 있습니다.

(2) 진공 환경에서 우수한 작동 성능을 발휘합니다.

(3) 정전기적인 부작용이 없음: TFT 회로와 같은 물체의 뒷면에 영향을 미치지 않으며, 전기장이 도달하지 않기 때문입니다.

(4) 흡착으로 인한 기판의 손상 없음: 표면에 균일한 힘이 가해져 표면에 움푹 들어간 부분, 긁힘 또는 기타 손상이 없습니다.

상기 PI-ESC 제품군은 HSM VINA에서 개발되며, 반도체 및 디스플레이 제조 공정을 보유하고 있는 다양한 고객의 요구에 맞춰 생산, 공급되고 있습니다.

당사는 더 긴 수명과 더 강한 척력을 위해 코팅 ESC, 고온용 ESC, 로버스트 ESC, 투명 ESC 등과 같은 하이브리드 ESC의 연구 개발에도 전념하고 있습니다.